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PRODUCT CENTER

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心工控儀表超聲波流量計(jì)ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì) 20系列

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì) 20系列
產(chǎn)品簡介:

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì) 20系列采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。

產(chǎn)品型號(hào):

更新時(shí)間:2024-12-09

廠商性質(zhì):代理商

訪問量:1206

服務(wù)熱線

4006981718

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產(chǎn)品介紹

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì) 20系列,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有 NIST 可溯源校準(zhǔn)證書??捎糜诳焖倬_地測量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,適用于多種流量測控場合。

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì) 20系列應(yīng)用及案例


●  大學(xué)/研究所           ●  泄漏檢測
●  環(huán)境監(jiān)測                ●  真空行業(yè)及鍍膜
●  工業(yè)爐窯                ●  半  導(dǎo)  體
●  汽車制造                ●  光       伏
●  燃料電池                ●  計(jì)量校準(zhǔn)
●  過程工藝氣體測量

產(chǎn)品特色


●  數(shù)字化產(chǎn)品

●  多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

●  可選高精度:優(yōu)于0.5%讀數(shù)

●  可測范圍廣,0.01~100%滿量程

●  響應(yīng)時(shí)間快,優(yōu)于10 ms

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲(chǔ)20種混合氣


技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體,請參考背面

           一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇

量    程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

測量范圍    0.01~100%滿量程

最大顯示流量    128 % 滿量程

顯 示 屏    帶背光燈按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ± (0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程)精度升級(jí)部分見左下角

           ± (0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程)(可選)

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差

重 復(fù) 性    ± (0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程)

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移    0.02%滿量程/ ℃(從25℃開始)

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移    ±(0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程)/ Atm(從校準(zhǔn)壓力開始)

響應(yīng)時(shí)間    優(yōu)于10 ms (與流量相關(guān))  

預(yù)熱時(shí)間    < 1 s

默認(rèn)標(biāo)況(STP)    25 ℃&1Atm(其它標(biāo)況可調(diào))

工作溫度    -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項(xiàng))

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ~ 95%,無冷凝

最大工作壓力    1 MPa 表壓(可選2 MPaG高壓系列)

操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定,建議在絕壓80 KPa以上使用;

其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ± 0.5 % 讀數(shù)(讀數(shù)>1 Atm),或 ± 0.07 PSIA(<1Atm)

最大進(jìn)出口壓差    0.5MPa

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率;

               模擬信號(hào):1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、

                    DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9-24 VDC (如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出,須為12 - 24VDC)

供電電流    40mA,額外加 40 mA( 4 - 20 mA或0-10VDC輸出)

電氣接口    DB9M,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率(外漏)    選擇HLC選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質(zhì)   302、303、304、316L不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷  

過程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝方式    對位置無要求

防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)    證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH、CSA (可選)



精度升級(jí)



量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM,

其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段,下述指標(biāo)升級(jí):

質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程(取最大值)

質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程(取最大值)

重復(fù)性 ±(0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01% 滿量程 / ℃(從 25 ℃開始)

± 0.01% 滿量程 / Atm(從校準(zhǔn)壓力開始)

質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃(從 25 ℃開始)

± 0.1 % 讀數(shù) / Atm(從校準(zhǔn)壓力開始)



選項(xiàng)配件


●  標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù):質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號(hào)接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號(hào)輸出可選
內(nèi)置30種氣體可選
200:1量程可調(diào)比
NPT接頭
可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保


●  可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號(hào)接口
ProfiBUS數(shù)字信號(hào)輸出
RS-485數(shù)字信號(hào)輸出
4-20mA模擬信號(hào)輸出
第二種模擬信號(hào)輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠(yuǎn)程顯示屏
遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報(bào)警(過高或過低)
雙向流動(dòng)
額外標(biāo)定點(diǎn)
定制混個(gè)氣體(最多4種)
定制流量范圍


尺寸詳圖

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì) 20系列

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì) 20系列

尺寸連接


滿量程質(zhì)量流量計(jì)

滿量程壓損1(psid)

排氣到大氣中

外觀尺寸

連接接口2

0.5 sccm - 1 sccm

1.0

3.9''H ×2.4''W ×1.1''D

M-5 (10-32)(內(nèi)螺紋)

(Buna-N表面密封至1/8''NPT內(nèi)螺紋)

2 sccm - 50 sccm

1.0

100 sccm - 20 slpm

1.0

4.1''H ×2.4''W ×1.1''D

1/8''NPT內(nèi)螺紋

50 slpm

2.0

4.4''H ×4.0''W ×1.6''D

1/4''NPT內(nèi)螺紋

100 slpm

2.5

250 slpm

2.1

5.0''H ×4.0''W ×1.6''D

1/2''NPT內(nèi)螺紋

500 slpm

4.0

5.0''H ×4.0''W ×1.6''D

3/4''NPT內(nèi)螺紋

(2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內(nèi)螺紋)

1000 slpm

6.0

2000 slpm

5.0

5.3''H ×5.2''W ×2.9''D

3000 slpm

7.1

5.3''H ×5.2''W ×2.9''D

1-1/4''NPT內(nèi)螺紋

5000 slpm

4.5

6.3''H ×5.6''W ×3.9''D

1-1/2''NPT內(nèi)螺紋

1、可選低壓損選項(xiàng)

2、與Beswick®,Swagelok®管,Parker®,表面密封,快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容,也可以按照用戶需求與VCR,SAE接頭相兼容。




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