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產(chǎn)品中心暖通環(huán)保風(fēng)速儀P-170臺階儀
產(chǎn)品型號：P-170
更新時間：2024-11-20
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：1118
服務(wù)熱線4006981718
產(chǎn)品分類
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P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能，適用于生產(chǎn)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。 P-170的圖案識別算法、增強的光學(xué)系統(tǒng)和先進(jìn)的平臺，這保證了性能的穩(wěn)定和系統(tǒng)間配方的無縫移植- 這是24x7生產(chǎn)環(huán)境的關(guān)鍵要求。
P-170臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗證的HRP-260的機械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機械傳送臂系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體，化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)。 P-170可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。
該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩(wěn)定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的分辨率相機等功能，程序設(shè)置簡便快速。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法，可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。
臺階高度：幾納米至1000μm
微力恒力控制：0.03至50mg
樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
視頻：500萬像素分辨率彩色攝像機
圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
軟件：簡單易用的軟件界面
生產(chǎn)能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化
晶圓機械傳送臂：自動加載75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如藍(lán)寶石）樣品
臺階高度：2D和3D臺階高度
紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
形狀：2D和3D翹曲和形狀
應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力
缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌
半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
LED：發(fā)光二極管
MEMS：微機電系統(tǒng)
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